【活动简介】2024年5月25日校友返校日下午，复旦大学微电子学院邀请返校校友参加集成电路工艺实验室。

【活动安排】

时间：2024年5月25日（周六）13:30-15:45

地点：复旦大学邯郸校区微电子学楼

场次：共13:30-14:15、14:15-15:00、15:00-15:45三个场次，每场不超过15人。

注意事项：进入实验室需配合工作人员穿白大褂、戴口罩，未成年人须满16周岁。

【实验室介绍】

      复旦大学微电子学院集成电路工艺实验室位于邯郸校区微电子学楼，拥有主体千级、部分区域百级、总洁净面积约1000平米的洁净室，放置了先进的集束系统(集成了PVD、ALD、MBE、RTP、XPS腔体 )、铜互连先进扩散阻挡层淀积和分析系统、纳米管和石墨烯淀积设备、反应离子刻蚀、微波退火系统等关键设备，同时还拥有高端电子束曝光设备JEOL 6300 FS和ICP刻蚀等设备，具有开展先进纳米CMOS器件和工艺研发能力。

      复旦大学是我国最早从事研究和发展微电子技术的单位之一，微电子学院成立于2013年4月，其前身是1958年由谢希德教授创办的半导体物理专业。2015年5月，学院成为首批获批建设的国家示范性微电子学院。2019年，“微电子科学与工程”专业获批首批国家级一流本科生专业建设点。同年11月，在全国率先试点建设“集成电路科学与工程”一级学科。学院设有“微电子学与固体电子学”和“集成电路与系统设计”两个二级学科，在SOC设计、集成电路计算机辅助设计、半导体新工艺、新结构、新器件、微电子机械系统等领域的人才培养和科研创新方面取得了丰硕成果，奠定了在国内的前列地位。